件名：バイポーラ半導体装置およびその製造方法
公開番号：2015-088699
登録番号：6276560

件名：半導体構造物、半導体装置及び該半導体構造物の製造方法
公開番号：
登録番号：9,469,345

件名：半導体構造物、半導体装置及び該半導体構造物の製造方法（国内優先権主張出願）
公開番号：
登録番号：6264768

件名：炭化珪素半導体基板、炭化珪素半導体基板の製造方法、半導体装置および半導体装置の製造方法
公開番号：
登録番号：6703915

件名：炭化珪素半導体基板、炭化珪素半導体基板の製造方法および炭化珪素半導体装置
公開番号：
登録番号：7009147

件名：エピタキシャルウェハの製造方法、エピタキシャルウェハ、半導体装置の製造方法及び半導体装置
公開番号：2017-85047
登録番号：6706786