件名：炭化珪素エピタキシャルウェハ、炭化珪素絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ及びこれらの製造方法
公開番号：
登録番号：6904774

件名：炭化珪素半導体装置および炭化珪素半導体装置の製造方法
公開番号：
登録番号：7004586

件名：半導体素子の検査装置及び半導体素子の検査方法
公開番号：2021-111748
登録番号：

件名：材料構造体、及び、半導体デバイス
公開番号：2022-16038
登録番号：

件名：炭化珪素半導体装置および炭化珪素半導体装置の製造方法
公開番号：WO2021/005903
登録番号：