件名:炭化珪素単結晶の製造方法
公開番号:2012-153543
登録番号:5641535
件名:炭化珪素単結晶の製造方法
公開番号:
登録番号:5669134
件名:炭化珪素単結晶の製造方法
公開番号:
登録番号:5831339
件名:炭化珪素単結晶およびその製造方法
公開番号:WO2019/244834
登録番号:
件名:炭化珪素単結晶およびその製造方法
公開番号:US 2021/0102311 A1
登録番号:
件名:炭化珪素単結晶の製造方法
公開番号:2011-251868
登録番号:5527767
件名:六方晶単結晶の製造方法、六方晶単結晶ウエハの製造方法、六方晶単結晶ウエハ、六方晶単結晶素子(国内優先権主張出願)
公開番号:2014-166937
登録番号:6090998
件名:炭化珪素単結晶の製造方法及び炭化珪素単結晶の製造装置
公開番号:2015-093810
登録番号:6235875
件名:炭化珪素単結晶の製造方法
公開番号:
登録番号:6268761
件名:炭化珪素単結晶ウェハ及び炭化珪素単結晶インゴットの製造方法
公開番号:2021-50112
登録番号: