件名:炭化珪素エピタキシャルウェハ、炭化珪素絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ及びこれらの製造方法
公開番号:
登録番号:6904774
件名:炭化珪素半導体装置および炭化珪素半導体装置の製造方法
公開番号:
登録番号:7004586
件名:半導体素子の検査装置及び半導体素子の検査方法
公開番号:2021-111748
登録番号:
件名:材料構造体、及び、半導体デバイス
公開番号:2022-16038
登録番号:
件名:炭化珪素半導体装置および炭化珪素半導体装置の製造方法
公開番号:WO2021/005903
登録番号: